纳米硬度

原位纳米力学测试系统是目前国际上实现纳米力学测试最有效的设备，是教学和深入开展微纳米材料和结构的物理、力学性能研究的必备实验设备。应用于薄膜、多相材料及其晶界、复合材料及其界面、MEMS、生物材料等各种材料在纳米尺度上的力学性能表征，可实现精确定位条件下的原位测试。利用它，不仅可以在纳米尺度上开展材料力学行为的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。通过压痕测试可以获得材料的硬度、弹性模量、断裂韧性和蠕变特性、贮存模量和损耗模量等，通过划痕测量可以获得薄膜材料的磨擦系数、薄膜 与基底之间的临界结合力等：而通过原位扫描成象，则可以获得纳米压痕和纳米划痕前后的表面形貌。