红外 衍射 紫外 气质



FIB


1800/h

电子电器检测

聚焦粒子束

芯片测试失效分析可靠性测试

北京 海淀区 北京市海淀区软件软广场3a 100085
负责人: Sunny, 联系人: Sunny
电话: 13488683602, 手机:13488683602
传真: 01082825511-728, Email:360843328@qq.com


服务介绍:

主要用途 芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。 u 

性能参数 a)着陆电压范围 - 电子束:350V~30kV                 - 离子束:500V~30kV b)最小分辨率 - 电子束:0.8nm/30kV               - 离子束:2.5nm/30kV c)全新的差分抽取及TOF校正功能,可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 u 

应用范围 1.定点切割 2.穿透式电子显微镜试片 3.IC线路修补和布局验证 4.制程上异常观察分析 5.晶相特性观察分析 6.故障位置定位用被动电压反差分析

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